Cooldown Chamber set

Cooldown Chamber (0010-93287) Set

P/N                         Description

0040-01101              Chamber Body
0040-04750              Chamber Lid
0040-04940              Lift Hoop
0035-00087               Wafer Lift Mounting Block
0020-39201               Mounting Block Cover
0021-08118               Water Cover
0040-04939               Pedestal Cool-down
0040-20133               Cool-down Flange
0021-03724               Center Find Flange
0020-09064               Window Flange
0200-09005               Quartz Window
3020-01126               Air Cylinder
3220-01051               Floating Joint Coupling
3300-03408               Elbow Tubing Fitting
0020-33779               Housing Bushing
0020-20930               Bracket MAG Switch